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真空泵及其類(lèi)型
一個(gè)容器放在自然環(huán)境中,如果不改變其內(nèi)部氣體壓強(qiáng),那么容器內(nèi)外部的氣體壓力達(dá)到平衡狀態(tài),在數(shù)值上等于大氣壓。要使容器內(nèi)部達(dá)到真空狀態(tài).就必須排出容器內(nèi)部的氣體,使內(nèi)部氣體壓強(qiáng)小于外部大氣壓。利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法,把氣體從容器中排出而獲得真空的設(shè)備稱(chēng)為真空泵。真空泵按其工作原理的不同分為壓縮型(變?nèi)菪?和吸附型兩類(lèi)。壓縮型真空泵工作原理是將泵的入口端的氣體壓縮到出口端,并排出至泵外。常見(jiàn)壓縮型真空泵有:利用膨脹一壓縮一排出過(guò)程的旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵,利用渦輪葉片排除產(chǎn)體的渦輪分子泵等。吸附型真空泵的工作原理是將氣體吸附在泵體內(nèi),已達(dá)到降低氣體壓強(qiáng)的目的。常見(jiàn)吸附型真空泵有:利用電離吸氣作用的離子泵,利用物理或化學(xué)吸附作用的吸附泵、吸氣泵和低溫冷凝泵等。吸附型真空泵與壓縮型真空泵不同是,吸附型真空泵并不是將氣體排出泵外,而是貯存在泵內(nèi),前者所能達(dá)到的真空度比后者高,但抽速小,適用容器也較小。真空電阻爐采用的是壓縮型真空泵,例如機(jī)械泵、羅茨真空泵以及擴(kuò)散泵等。
各類(lèi)真空泵都有自己的工作范圍,有的泵可以直接從大氣狀態(tài)下開(kāi)始工作,如機(jī)械泵、吸附泵,有些泵就不能直接從大氣狀態(tài)下開(kāi)始工作,如擴(kuò)散真空泵、分子泵、離子泵等,入口真空度必須達(dá)到一定數(shù)值時(shí),才能開(kāi)始工作。
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